Servicio de micro y nanofabricación

El servicio de micro y nanofabricación (MiNa) del Instituto de Micro y Nanotecnología (IMN) se inicia al unirse el Laboratorio de Litografía de Alta Resolución (LAB-LAR) con el resto del equipamiento de la Sala de Fabricación del IMN. El LAB-LAR pertenece a la Red de Laboratorios e Infraestructuras de Investigación de la Comunidad de Madrid y dispone de la certificación de calidad ISO 9001, trabajando con gran eficiencia en su objetivo de satisfacer la demanda creciente de fabricación de estructuras para grupos de investigación externos al IMN.

Dos son sus características principales. La primera es la de ofertar un servicio muy flexible en donde la tecnología se adapta lo más posible al usuario, y que incluye desde procesos básicos de fabricación que constan de una sola etapa, hasta procesos de fabricación multi-etapa, ofreciendo la posibilidad de fabricar estructuras complejas sin las restricciones impuestas por una Sala Blanca estándar. La otra característica es la de su amplia experiencia por tener una posición pionera en el desarrollo de la nanotecnología en España, que le permite ofrecer procesos tecnológicos más allá de los estándares. Asimismo, es uno de los pocos servicios en ofrecer en España litografía de alta resolución y el único en ofrecer litografía de ultra alta resolución por haz de iones en grandes áreas.
El servicio completa sus objetivos al transferir sus experiencias al resto de la comunidad científica española ofreciendo sus conocimientos e infraestructuras de alto nivel a centros de I+D y empresas tecnológicas.
 

Servicio de Micro y Nanofabricación

Instituto de Micro y Nanotecnología (Centro Nacional de Microelectrónica)
PTM, calle Isaac Newton 8, 28760 Tres Cantos, Madrid
Tel. +34 91 806 07 85
Fax. +34 91 806 07 01

Dr. Maria Luisa Dotor Castilla
ml.dotor@csic.es
http://www.imn.cnm.csic.es

©Instituto de Micro y Nanotecnología
Isaac Newton 8, 28760 Tres Cantos, Madrid
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